臨界流量流量計的探討 四十三

半導體單晶硅材料在受到外力作用時，會產生肉眼察覺不到的極微小應變，其原子結構內部的電子能級狀態將發生變化，從而導致其電阻率劇烈的變化，由這種材料制成的電阻也隨之出現極大變化，這種物理效應稱為壓阻效應。硅壓阻式傳感器就是在硅片上用擴散或離子注入法形成四個阻值相等的電阻條，并將它們接成一個惠更斯電橋。當沒有外加壓力時，電橋處于平衡狀態，電橋輸出電壓為零。當有外加壓力時，電橋失去平衡，產生輸出電壓，該電壓大小與外加壓力有關，通過檢測電壓即可得到相應的壓力值。

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