超聲波流量計芯片的原理探討 七十二
超聲波流量計用Dracula做DRC,它的輸入有兩個,一個是版圖文什,即自己岐計的版圖設計工具中導出的GDSII文件或其他格式,另一個是規則文件(Rule File), DRC工具怎樣做DRC。提供的版圖幾何規范自己寫。要做版圖驗證,而如果自己寫規則文件,就對工藝規則的掌握有更高要求丁。
對一個DraculaDRC的使用者米說,主要有臥F幾個音{f分的知識要掌握。第一,工藝規則。要求對芯片在半導體加工工廠里的制造工藝流程有一定程度的了解。第二,rule文件的編寫和編輯。第三,Dracula輸出的DRC信息的使用。
DRC檢查的內容包括:最小間距、最小寬度、最小露頭、金屬最小凹槽等等。