超聲波流量計芯片的原理探討   七十一

4 1 4超聲波流量計芯片整體版圖

整體版圖所示，由于芯片的PAD有“個，所以芯片引腳的ESD保護占了很大的面積，使版圖的整體面積較大。

4 1 5芯片版圖驗證

如前文提到的版圖設計流程，本文在使用Virtuoso Layout Editor J=具完成版圖的設計后，對芯片的版圖進行了DRC和LVS驗證，通過后對帶有寄生參數的版圖州表進行后仿真，以判斷所設計版圖的性能是否達到設計指標要求。如不滿足則重新粕局、靠線開始，版圖文件是可以直接交給半導體加工工廠生產的。但是，在交付廠商之前必須做DRC驗證。因為，為了保證版圖能正確制出，流片廠家會根據工藝定義很多的設計規則，只有版圖滿足廠家的所有的設計規則，才可能被正確的制H{。一般配來，設計規則有很多，例如最小間距、晶小孔徑等。不符臺廠家提出的設計規則要求的版圖在工藝線是不可能被正確生產出來的。