超聲波流量計芯片的原理探討   六十六

(3)超聲波流量計關于避免襯底噪聲的措施

襯底噪聲產生的原因：源、漏．襯底pn結正偏導通，或者電源連接點引入的串擾，使得襯底電位會產生抖動偏差，這稱為襯底噪聲。解決方法：對于輕摻雜的襯底，要用保護環把敏感部分電路包圍起來；或把gnd和襯底在片內連在一起，然后由一條線連到片外的全局地線，使得gnd和襯底的跳動一致，也可以消除襯底噪聲。為保證襯底可靠的電位連接，要盡量把襯底接觸孔(substrate contact)的位置和該位置的管子的襯底注入級(substrate injector)的距離縮小，越近越好，同時還要求襯底接觸孔的數量要足夠的多，盡量多打孔，保證襯底與電源接觸電阻較小。